網(wǎng)帶式燒結(jié)爐如何設(shè)計(jì)燒結(jié)曲線(xiàn)和爐溫均勻性
日期：2018-10-16 8:57:09 作者： 流量：
燒結(jié)是低溫共燒陶瓷（LTCC）中生產(chǎn)工藝流程中重要的環(huán)節(jié)，它是將經(jīng)過(guò)層壓的多層基板模板放入燒結(jié)爐中，進(jìn)行排膠和燒結(jié)成型。排膠不充分燒結(jié)后基板會(huì)起泡、變形或分層。排膠過(guò)量可能會(huì)使金屬化層脫落或基板碎裂。低溫共燒技術(shù)的關(guān)鍵是燒結(jié)曲線(xiàn)和爐膛溫度的均勻性。燒結(jié)時(shí)升溫速度過(guò)快，會(huì)導(dǎo)致基板的平整度差和收縮率大。爐膛溫度均勻性差，燒結(jié)后基板收縮率的一致性也很差。
LTCC低溫共燒陶瓷基片對(duì)溫度均勻性以及燒結(jié)曲線(xiàn)有著較高的要求，排膠段需向爐內(nèi)通入氣體來(lái)輔助排膠，如果通入的氣體與爐溫相差過(guò)大，比將影響到爐內(nèi)溫度，我們可將輔助排膠氣體加熱到與爐溫一致后經(jīng)過(guò)較短的保溫管道通入爐內(nèi)，使進(jìn)入爐溫的氣體不對(duì)爐溫產(chǎn)生沖擊。
同樣燒結(jié)曲線(xiàn)對(duì)基片的燒成質(zhì)量有很大的影響，一般的溫度控制僅僅是依靠布置在加熱器附近的溫度傳感器來(lái)控制的，而對(duì)于待燒基片位置的溫度卻不能夠如實(shí)的反應(yīng)。這樣一來(lái)，燒結(jié)曲線(xiàn)就不是基片所處的真實(shí)溫度過(guò)程，對(duì)燒結(jié)工藝帶來(lái)不確定性。為了使其一致，可以將串級(jí)控溫引進(jìn)到燒結(jié)爐中，通過(guò)加熱器附近和基片附近的兩組熱偶串接共同控制爐溫。
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